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单晶炉改造方案

一、方案

方案:我们目前采用的方案是:更改炉底与排气结构,增加延长副室段(增加单根晶棒的隔离长度,对应的籽晶绳也要加长),增加底部加热电源,增加底部加热器(含铜电极及水冷电缆等配  套件),增加水冷热屏装置,设计26寸降氧热场。主要有以下几点优点:

A、将侧排气改成底排气后改善了连续几根拉晶工艺过程中排气管容易堵塞现象,将一炉几根工艺变得简单易行;

B、增加底部加热电源及底部加热器,利用降氧热场可以改善晶体头部氧施主问题,头部氧含量低于16ppma;

C、热场结构与水冷屏有机统一,热场梯度,利于成晶,提升晶体生长速度,降低等径时间,单产;

D、采用新热场,由于有底部加热装置的存在,可以将坩埚位置降低很多,从而避免对投料的影响,且在第二根第三根等复投料过程中,可以降低坩埚高度,避免二次加料产生溅硅现象的发 生。

以上方案详细阐述了各自的特点,从一炉一根到一炉多根的除了更改及增加硬件外,对应的生产工艺也要随之变动。只有二者相结合才能达到产品质量、产能及降低生产成本的目的。


95型单晶炉改造后有以下几点优势:

1、等晶拉速大于1.4mm/min(平均拉速);

2、质量改善:单晶头部氧含量低于16ppma,可消除同心圆、黑芯片等影响转换效率现象;

3、综合以上两点的成本优势,方棒非硅成本可以在60元/kg(折算重量)左右;

4、实际拉晶过程如下(排除引放不成功及断棱问题):




二、改造前后数据对比:(说明:新式95炉均按改造后的标准制造)




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0510-86631330
139-2125-5938(申亚东)
139-1521-0023(王波)

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